Материаловедение и технологии электроники
ПРЕДИСЛОВИЕ ОСНОВЫ ФИЗИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ ОСНОВЫ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОГО АНАЛИЗА МАТЕРИАЛОВ ПРЕДМЕТ И ЗАДАЧИ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ КЛАССИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ ДИАГРАММЫ СОСТОЯНИЯ МАТЕРИАЛОВ АТОМНАЯ СТРУКТУРА ТВЕРДЫХ ТЕЛ СИММЕТРИЯ КРИСТАЛЛОВ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ ТВЕРДЫХ ТЕЛ КООРДИНАЦИОННОЕ ЧИСЛО АТОМОВ И МЕЖДОУЗЛИЯ РЕШЕТКИ ДЕФЕКТЫ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ КЛАССИФИКАЦИЯ ДЕФЕКТОВ ТВЕРДОГО ТЕЛА ТИПЫ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ Дефекты Шоттки и Френкеля Специфические точечные дефекты ЛИНЕЙНЫЕ ДЕФЕКТЫ. УПРОЧНЕНИЕ КРИСТАЛЛА СТРУКТУРА ГРАНИЦ ЗЕРЕН КРИСТАЛЛА, СЕГРЕГАЦИЯ МЕЖАТОМНАЯ СВЯЗЬ В МАТЕРИАЛАХ КЛАССИФИКАЦИЯ ТИПОВ МЕЖАТОМНОЙ СВЯЗИ СВЯЗЬ ВАН-ДЕР-ВААЛЬСА ИОННАЯ СВЯЗЬ КОВАЛЕНТНАЯ СВЯЗЬ ФИЗИКОХИМИЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ ЭНЕРГИЯ СВЯЗИ И СТРУКТУРНО-НЕЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ЭЛЕМЕНТЫ ТЕОРИИ АБСОЛЮТНЫХ СКОРОСТЕЙ РЕАКЦИЙ ОБЪЕМНАЯ И ПОВЕРХНОСТНАЯ КОНЦЕНТРАЦИЯ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ ЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА ОКСИДНЫХ МАТЕРИАЛОВ Термоэмиссионные свойства оксидов Вторично-эмиссионные свойства оксидов Поверхностно-эмиссионные свойства оксидов СТРУКТУРА ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ ОСНОВНЫЕ ТИПЫ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ ПРАВИЛА ЮМ-РОЗЕРИ ЗАКОН ВЕГАРДА УПОРЯДОЧЕНИЕ В ТВЕРДЫХ РАСТВОРАХ СТРУКТУРА ПРОМЕЖУТОЧНЫХ ФАЗ ЭЛЕКТРОННЫЕ СОЕДИНЕНИЯ И ФАЗЫ ЛАВЕСА ФАЗЫ СО СТРУКТУРОЙ ^-ВОЛЬФРАМА СОЕДИНЕНИЯ ТИПА Си5Са ПРОЦЕССЫ ДИФФУЗИИ В МАТЕРИАЛАХ ФЕНОМЕНОЛОГИЧЕСКАЯ ТЕОРИЯ ДИФФУЗИИ АТОМНЫЕ МЕХАНИЗМЫ ДИФФУЗИИ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ СТРУКТУРНЫЕ НЕСОВЕРШЕНСТВА КРИСТАЛЛА И ДИФФУЗИЯ ФАЗОВЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ В МАТЕРИАЛАХ ОСНОВНЫЕ ТИПЫ ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ КИНЕТИКА ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ. УРАВНЕНИЕ АВРАМИ ПРЕВРАЩЕНИЯ НА ГРАНИЦЕ РАЗДЕЛА ТВЕРДОЙ И ГАЗОВОЙ ФАЗ МЕТОДЫ УПРАВЛЕНИЯ СТРУКТУРОЙ И СВОЙСТВАМИ МАТЕРИАЛОВ ВОЗВРАТ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ Первичная рекристаллизация Вторичная рекристаллизация ЗАКАЛКА И СТАРЕНИЕ МАТЕРИАЛЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ КЛАССИФИКАЦИЯ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ ОСНОВНЫЕ ТИПЫ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ СТРУКТУРА ТЕХНИЧЕСКИХ УСЛОВИЙ НА МАТЕРИАЛ ПОРЯДОК СЕРТИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛА ОСНОВНЫЕ ТИПЫ КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ СТАЛИ Диаграмма состояния «железо - углерод» Влияние примесей на свойства сталей Классификация и маркировка сталей СПЛАВЫ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ И МАГНИЯ Диаграммы состояния «AI - Си» и «AI - Si» Классификация и свойства сплавов алюминия Сплавы на основе магния Сплавы на основе олова МАТЕРИАЛЫ ФИЗИЧЕСКОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ И СПЛАВЫ Свойства чистых тугоплавких металлов Сплавы тугоплавких металлов Сплавы благородных металлов МАТЕРИАЛЫ КАТОДОВ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ Материалы металлического типа Материалы на основе оксидов Композиционные материалы МАТЕРИАЛЫ ТЕРМОЭМИТТЕРОВ ИОНОВ Термоэмиттеры ионов органических аминов Термоэмиттеры ионов органических нитросоединений МАТЕРИАЛЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ЭЛЕМЕНТАРНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ АМОРФНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ МАТЕРИАЛЫ С ОСОБЫМИ СВОЙСТВАМИ МАГНИТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ Ферромагнетизм переходных металлов Ферромагнитные сплавы Ферриты КЕРАМИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ Конструкционная керамика Конденсаторная керамика Сегнетоэлектрическая керамика СТЕКЛООБРАЗНЫЕ МАТЕРИАЛЫ Классификация стекол Кварцевое стекло Оксидные стекла Халькогенидные стекла МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРОСТРУКТУРЫ МЕТОДЫ ИЗУЧЕНИЯ ФАЗОВОГО СОСТАВА МЕТОДЫ ИЗУЧЕНИЯ ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА МЕТОДЫ ПОСТРОЕНИЯ ДИАГРАММ СОСТОЯНИЯ Прямые методы построения диаграмм состояния Методы физико-химического анализа МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЯ МАТЕРИАЛОВ ИСПЫТАНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ СПЕЦИАЛЬНЫЕ ВИДЫ ИСПЫТАНИЙ МАТЕРИАЛОВ ИСПЫТАНИЯ СВАРНЫХ И ПАЯНЫХ СОЕДИНЕНИЙ БАЗОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОНИКИ ТЕХНОЛОГИИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ТЕХНОЛОГИИ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ Рост монокристаллов из расплава Метод зонной плавки Метод Вернейля Метод Бриджмена Метод Чохральского ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛОВ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ Электродуговая выплавка материалов Индукционная выплавка материалов Электронно-лучевая выплавка материалов ТЕХНОЛОГИИ ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ РАСПЫЛЕНИЕ РАСПЛАВА ИНЕРТНЫМ ГАЗОМ 19.1.1. Распыление потоком инертного газа РАСПЫЛЕНИЕ «ВРАЩАЮЩЕГОСЯ ЭЛЕКТРОДА» ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОПОРОШКОВ ТЕХНОЛОГИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ТЕХНОЛОГИИ КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ Технология изготовления керамики Технология нанесения керамических покрытий ТЕХНОЛОГИИ СТЕКЛООБРАЗНЫХ МАТЕРИАЛОВ Технологии получения стекла Технологии получения пленок стекла ТЕХНОЛОГИИ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ ОБРАБОТКА МЕТАЛЛОВ ДАВЛЕНИЕМ Классификация методов обработки давлением Технология получения проволоки и трубТехнологии получения фольги КОМПАКТИРОВАНИЕ ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ТЕХНОЛОГИИ СОЕДИНЕНИЯ МЕТАЛЛА С КЕРАМИКОЙ Конструкции металлокерамических узлов Пайка металла с керамикой МИКРОВОЛНОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ СВЧ-ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ СИНТЕЗА НАНОПОРОШКОВ ОКСИДОВ СВЧ-ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ НАПЫЛЕНИЯ ГИДРОКСИАПАТИТА СВЧ-ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ЗАЩИТЫ ОПТОВОЛОКНА СВЧ-ТЕХНОЛОГИЯ ОБЕЗЗАРАЖИВАНИЯ ПИТЬЕВОЙ ВОДЫ СВЧ-ТЕХНОЛОГИЯ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД ОТ ТЯЖЕЛЫХ МЕТАЛЛОВ ПЛАНАРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ ТЕХНОЛОГИИ МОЛЕКУЛЯРНОЙ, ГАЗОВОЙ И ЖИДКОСТНОЙ ЭПИТАКСИИ Основные методы эпитаксиального осаждения Газофазная эпитаксия Жидкофазная эпитаксия Молекулярно-лучевая эпитаксия Дефекты эпитаксиальных структур ТЕХНОЛОГИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК Технологии термического окисления кремниевых подложек Анодное, пиролитическое и термическое осаждение Технологии формирования пленок нитрида кремния Технологии на основе СВЧ-плазменных разрядов ТЕХНОЛОГИИ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ Технологии ионного распыления и очистки подложек Технологии термоионного осаждения пленок Физические основы ионной имплантации Технологии ионной имплантации ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК Параметры и характеристики магнетронных источников Системы распыления магнитных материалов Реактивные и высокочастотные распылительные системы ТЕХНОЛОГИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ Контактная фотолитография Проекционная фотолитография Радиационная литография Магнетронные системы селективного травления ТЕХНОЛОГИИ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК Микроэлектронные структуры на основе сегнетоэлектриков Золь-гель технологии сегнетоэлектрических пленок ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПЛАНАРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ГАЗО-ВАКУУМНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЙ Основные понятия вакуумной техники Методы получения вакуума в установках МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР Контроль полупроводниковых слитков Контроль полупроводниковых пластин Контроль параметров носителей заряда Контроль эпитаксиальных структур АНАЛИТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ ЗНАЧЕНИЕ АНАЛИТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ В ЭЛЕКТРОНИКЕ ОСНОВНЫЕ ЗАДАЧИ АНАЛИТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ КРАТКАЯ ИСТОРИЯ РАЗВИТИЯ АНАЛИТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ СОВРЕМЕННЫЙ ПОДХОД К РАЗВИТИЮ АНАЛИТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЭЛЕКТРОНОВ С ПОВЕРХНОСТЬЮ ТВЕРДОГО ТЕЛА ВТОРИЧНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ ЭЛЕКТРОН-ФОТОННАЯ ЭМИССИЯ ЭЛЕКТРОННО-СТИМУЛИРОВАННАЯ ДЕСОРБЦИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИИ КАЧЕСТВЕННЫЙ И КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ МАТЕРИАЛОВ ДРУГИЕ МЕТОДЫ ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ИОНИЗАЦИОННАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ СПЕКТРОСКОПИЯ «ПОТЕНЦИАЛОВ ПОЯВЛЕНИЯ» ИСТИННО-ВТОРИЧНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ СПЕКТРОСКОПИЯ УПРУГО ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ СПЕКТРОСКОПИЯ ХАРАКТЕРИСТИЧЕСКИХ ПОТЕРЬ ЭНЕРГИИ ДИФРАКЦИЯ МЕДЛЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ПРИБОРЫ ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРОВ АНАЛИЗАТОРЫ ЭНЕРГИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ИСТОЧНИКИ ПЕРВИЧНЫХ ЭЛЕКТРОНОВ СПЕКТРОСКОПИЯ ОБРАТНО РАССЕЯННЫХ ИОНОВ НИЗКИХ ЭНЕРГИЙ (СОРИНЭ) МЕХАНИЗМ РАССЕЯНИЯ ИОНОВ НИЗКИХ ЭНЕРГИЙ МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ МЕТОДОМ СОРИНЭ ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ МЕТОДА СОРИНЭ ВТОРИЧНО-ИОННАЯ МАСС- СПЕКТРОСКОПИЯ(ВИМС) РАСПЫЛЕНИЕ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ КВАДРУПОЛЬНЫЕ МАСС-АНАЛИЗАТОРЫ ИСТОЧНИКИ ИОНОВ - «ИОННЫЕ ПУШКИ» ИОННО-ФОТОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ИОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПРИ ФОТОННОМ ВОЗБУЖДЕНИИ ЭЛЕКТРОНОВ СПЕКТРОСКОПИЯ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО АНАЛИЗА (ЭСХА) ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (УФЭС) СИНХРОТРОННОЕ ВОЗБУЖДЕНИЕ СПЕКТРОВСПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
